Per eseguire la misurazione, lo specchio poligonale ruota, effettuando la scansione laser. Come mostrato di seguito, nel caso dei target in movimento vi sono sempre sezioni che non è possibile misurare.
Per la misurazione dei target, il nuovo sistema ottico utilizza un'esposizione continua, senza specchio in rotazione, rilevando quindi in modo affidabile qualunque variazione del target. Tale soluzione risponde pienamente alle esigenze di misurazione delle linee ad alta velocità, derivanti dalla riduzione del tempo unitario di produzione (tact time).
È possibile rilevare in modo affidabile le variazioni temporanee in quanto la misurazione si basa sul valore medio sul tempo di esposizione.
La deviazione del percorso del fascio laser dipende dalla precisione di ciascuna delle superfici dello specchio poligonale utilizzato per la scansione.
Il percorso di scansione laser varia per ciascun campione.
Nel metodo a scansione laser, la variazione della rotazione del motore aumenta nel tempo.
La variazione del percorso di scansione laser aumenta quindi al crescere del tempo di utilizzo del dispositivo.
Il sistema necessita pertanto di una calibrazione, che causa spesso un aumento dei costi e dei tempi di fermo.
Grazie all'assenza di superfici a specchio in movimento, il sistema effettua la misurazione della stessa area per ogni campione.