Viene effettuato un rilevamento ad alta velocità così da poter eseguire un’ispezione precisa del target anche se vibra, rendendo possibili misurazioni accurate.
Integrando i circuiti periferici del CMOS di misurazione in un chip, il rapporto S/N (segnale/rumore) è stato migliorato nettamente e si è raggiunto un campionamento ad alta velocità. Ad esempio, i target che si spostano a 1000 m/min. possono essere misurati a un passo di circa 1 mm. Anche le parti che vibrano ad alte velocità possono essere misurate in modo stabile.